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速博科技將推出新型WaferSense®自動電阻傳感器
2020-01-20

[據半導體文摘網站2020116日報道]202025日至7,韓國SEMICON大會將在韓國首爾舉行,屆時速博科技(CyberOptics)公司將推出和展示其新型WaferSense®自動電阻傳感ARS以及用于半導體工具設置和診斷的CyberSpectrum™軟件。速博科技(納斯達克股票代碼:CYBE)是全球領先的高精度3D傳感技術解決方案開發商和制造商。

帶有CyberSpectrum™軟件300毫米自動電阻傳感器利用開爾文感應(4線電阻)測試方法快速識別和監測周邊50個獨立焊盤的電阻值能夠在半導體電化學沉積(ECD)應用中實時測量鍍層電池觸點的電阻以檢測影響電鍍引腳的殘留物。

半導體晶圓廠的工藝和設備工程師通過對所測電阻隨時間變化的定量分析,預測需要維護的時間縮短設備維護周期。同時,利用四線電阻傳感器和CyberSpectrum™軟件客觀的、可復現的數據,改善晶圓上帶與帶之間的均勻性。

速博科技公司總裁兼首席執行官Subodh Kulkarni博士說:“WaferSense®能夠顯著提高良品率和設備正常運行時間,已在全球許多半導體工廠和設備制造商中投入使用,為此我們擴展了WaferSense®的專用產品線。新型自動電阻傳感可以在半導體工廠的應用中對電化學沉積的電阻值進行實時監控可以節省時間、成本并改善工藝。

速博科技公司還將展示WaferSense®自動振動和水平傳感器(AVLS3)。

水平傳感器的厚度僅3.5毫米,可以被輕松地移動到晶圓制造過程中的多數位置。化學硬化玻璃(CHG)基板能夠實現平滑的晶圓處理并改善真空吸盤。帶有CyberSpectrum™軟件的水平傳感器,可以同時收集并顯示振動和水平測量數據,以實現設備安裝、校準和實時設備診斷的快速進行。國家工業信息安全發展研究中心  劉彧寬

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